فناوری میکرو الکترومکانیکی یا MEMS فناوری دستگاه های مکانیکی بسیار کوچک با نیروی محرکه ی الکتریکی می باشد که در مقیاس نانو جزو نانو سامانه های الکترو مکانیکی و نانوفناوری می باشند.
سامانه های MEMS از اجزایی به اندازه ی ۱ تا ۱۰۰ میکرون(میکرو متر) ساخته می شوند و دستگاه های
MEMS محدوده ی اندازه شان از ۲۰ میکرون تا یک میلی متر می باشد.آنها معمولاً از یک واحد مرکزی
پردازش داده و چند قطعه از قبیل ریز حسگرها جهت تراکنش با بیرون تشکیل می شوند.
MEMS زمانی عملی شد که توانست با استفاده از فناوری های اصلاح شده ی ساخت قطعات نیمه هادی
که معمولاً برای ساخت قطعات الکترونیکی استفاده می شوند ساخته شود.
این فناوری ها عبارتند از: قالب گیری و آبکاری فلزی ،کنده کاری تر و خشک ،ماشین کاری با تخلیه برقی و فناوری های دیگر که امکان ساخت دستگاه های کوچک را فراهم می کنند.
یک مثال اولیه از دستگاه های MEMS، تشدید کننده است؛ یک تشدید کننده ی یکپارچه ی برقی مکانیکی.
بسته به وسیله و بازار هدف، فناوری MEMS می تواند با استفاده از چند ماده و روش مختلف ساخت عملی شود.
مواد برای ساخت MEMS:
۱٫سیلیکون:
سیلیکون در شکل بلور تکی، تقریباً یک ماده ای است که وقتی خم شود پسماند ندارد،
بنابراین تقریباً تلفات انرژی نداریم.
روش های پایه برای تولید همه ی وسیله های MEMS سیلیکونی عبارتند از رسوب دهی لایه های مواد،
الگو دهی به این لایه ها به وسیله لیتو گرافی نوری و سپس کنده کاری برای تولید شکل های مورد نیاز.
۲٫پلیمر ها:
سیلیکون بلورین هنوز ماده ای پیچیده و نسبتاً گران قیمت است.از سوی دیگر پلیمرها می توانند
در حجم عظیم و با تنوع زیاد از نظر خواص مواد تولید شوند.وسیله های MEMS را می توان از پلیمرها
با فرایندهایی مانند قالب گیری تزریقی ،نقش برجسته یا حکاکی دو سویه ساخت.
۳٫فلزها:
وقتی فلزها در محدوده ی خود به کار روند می توانند درجه ی اطمینان بالایی را نشان دهند.
فلزهای رایج شامل طلا، نیکل، آلومیوم، مس، کرومیوم، تیتانیوم، تنگستن، پلاتینیوم و نقره می باشند.
فرایندهای پایه ی MEMS:
